詳細(xì)說(shuō)明
三、規(guī)格參數(shù):
坐標(biāo)測(cè)量行程(mm)X向:150 Y向:75
X、Y坐標(biāo)測(cè)量分辨率:0.001mm
X、Y坐標(biāo)示值準(zhǔn)確度:(2+L/50)μm 其中L—被測(cè)長(zhǎng)度,單位為mm
顯微鏡立柱傾斜范圍:±15°
顯微鏡立柱傾斜分度值:30′
圓工作臺(tái)直徑(mm) 280
圓工作臺(tái)角度分度值: 3′
顯微鏡懸臂伸出長(zhǎng)度(mm):180
頂針架夾持直徑和長(zhǎng)度:φ70mm 長(zhǎng)190mm
物鏡放大率、 工作距離及視場(chǎng)直徑
物鏡放大率 總放大率 工作距離(mm) 視場(chǎng)距離(mm)
1× 10× ≈79 ≈20
3× 30× ≈69 ≈6.7
5× 50× ≈49 ≈4
光學(xué)定位器的主要技術(shù)參數(shù)
*小探測(cè)孔徑 φ5mm
*大探測(cè)深度: 15mm
測(cè)量力 0.1N
定位穩(wěn)定性 0.001mm
測(cè)頭直徑的檢定極限誤差 0.0005mm
儀器主機(jī)外形尺寸(mm) 長(zhǎng)×寬×高=72