三軸均采用精密直線導(dǎo)軌，保證高精度測量.....

技術(shù)規(guī)格：

平面及表面輪廓精度: 0.08%

X.Y 工作臺行程: 200x100mm

Z 軸工作臺行程: 90mm

X.Y 座標(biāo)數(shù)顯精度: 0.001mm

X.Y 座標(biāo)測量精度: 0.005mm

角度測量精度: 0.01度

工作臺承重: 100kg

配 10X 鏡頭

選配 20X, 50X 鏡頭

外形???寸: 670x550x1060mm

重量: 170kg(凈重)  
    
機身特點：

機座采用**鑄鐵精密制造，每塊鑄件都經(jīng)過由電腦控制的除內(nèi)應(yīng)力專家系統(tǒng)作時效處理，保證鑄件尺寸穩(wěn)定性，**度能持久保持。

三軸均采用精密直線導(dǎo)軌，保證高精度測量，移動輕松平穩(wěn)。

采用無牙光桿作傳動，完全消除絲桿系統(tǒng)的背隙問題，提高移動靈敏度。